|
Математическое моделирование, 2003, том 15, номер 5, страницы 47–53
(Mi mm458)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Линейные измерения в растровой электронной микроскопии на основе методов морфологического анализа изображений
Е. А. Грачев, Д. М. Устинин, А. И. Чуличков Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, физический факультет
Аннотация:
Предложен новый подход к решению задачи поиска и определения размеров объекта известной формы на видеосигнале РЭМ и других микрозондовых приборов, основанный на морфологическом анализе изображений. Проиллюстрирована эффективность применения предложенного метода в электронной литографии.
Поступила в редакцию: 22.11.2001
Образец цитирования:
Е. А. Грачев, Д. М. Устинин, А. И. Чуличков, “Линейные измерения в растровой электронной микроскопии на основе методов морфологического анализа изображений”, Матем. моделирование, 15:5 (2003), 47–53
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm458 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v15/i5/p47
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 574 | PDF полного текста: | 179 | Список литературы: | 59 | Первая страница: | 1 |
|