Математическое моделирование и оптимизация процесса формирования функциональных тонких пленок

В работе рассмотрены математическое моделирование и оптимизация технологического процесса получения функциональных тонких пленок на примере Mo-Se электрохимическим методом. Исследование проводилось потенциодинамическим, потенциостатическим и гальваностатическим методами в различных условиях на Pt и Ni электродах. Математические расчеты были выполнены в программном пакете с использованием специально разработанного для этого процесса программного обеспечения. С изучением влияний различных факторов (концентрации исходных компонентов, температуры, плотности тока и т.д.) были выбраны оптимальный режим электролиза и состав электролита для процесса совместного осаждения. Проведен статистический анализ полученного уравнения регрессии, вычислена средняя ошибка аппроксимации, оценено среднеквадратичное отклонение. Для оценки построенного уравнения множественной регрессии вычислены критерии Фишера и оценены коэффициенты регрессии. Полученное уравнение регрессии определяет содержание электролита и условия электролиза, которые позволяют осаждать сплав Mo-Se, содержащий в составе необходимое количество Mo.