|
Математическое моделирование, 2012, том 24, номер 5, страницы 35–44
(Mi mm3247)
|
|
|
|
Моделирование роста поверхности тонких плёнок
В. А. Васильев, П. С. Чернов Пензенский государственный университет, 440026, Россия, Пенза, Красная, 40
Аннотация:
В статье рассматривается проблема моделирования роста поверхности тонких пленок. Проведен краткий обзор существующих подходов и моделей. Предложена оригинальная модель роста поверхности тонких плёнок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и позволяющая исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию поверхности. Проведено сравнение результатов моделирования с данными атомно-силовой микроскопии экспериментально полученных образцов тонких плёнок.
Ключевые слова:
рост поверхности, тонкие плёнки, стохастический клеточный автомат, параметры морфологии.
Поступила в редакцию: 26.04.2011
Образец цитирования:
В. А. Васильев, П. С. Чернов, “Моделирование роста поверхности тонких плёнок”, Матем. моделирование, 24:5 (2012), 35–44; Math. Models Comput. Simul., 4:6 (2012), 622–628
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm3247 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v24/i5/p35
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 472 | PDF полного текста: | 232 | Список литературы: | 60 | Первая страница: | 22 |
|