|
Математическое моделирование, 2012, том 24, номер 12, страницы 23–28
(Mi mm3217)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Особенности самоорганизации наноструктур на поверхности полупроводников при ионной бомбардировке
Н. А. Кудряшов, П. Н. Рябов, Т. Е. Федянин Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ
Аннотация:
Рассматривается процесс образования наноструктур на поверхности полупроводниковых подложек. Сформулирована математическая модель и проведено численное моделирование данного процесса. Проведено исследование влияния членов высокого порядка на эволюцию поверхностной морфологии и классифицированы дефекты, встречающиеся при образовании структур.
Ключевые слова:
ионная бомбардировка, диссипация, самоорганизация, наноструктура, подложка.
Поступила в редакцию: 01.10.2012
Образец цитирования:
Н. А. Кудряшов, П. Н. Рябов, Т. Е. Федянин, “Особенности самоорганизации наноструктур на поверхности полупроводников при ионной бомбардировке”, Матем. моделирование, 24:12 (2012), 23–28
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm3217 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v24/i12/p23
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 442 | PDF полного текста: | 135 | Список литературы: | 80 | Первая страница: | 29 |
|