|
Математическое моделирование, 2009, том 21, номер 10, страницы 67–75
(Mi mm2891)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Моделирование возникновения аномальной поперечной неоднородности распределения примеси в космических экспериментах по выращиванию кристаллов
Н. А. Балдина, Б. В. Васекин, В. А. Гончаров Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Аннотация:
Условия известного космического эксперимента по выращиванию полупроводниковых кристаллов моделируются на основе решения нестационарной задачи Стефана. Исследуется влияние скорости выращивания кристалла на величину поперечной неоднородности распределения примеси. Получено количественное соответствие результатов численных расчетов и экспериментальных данных.
Поступила в редакцию: 08.09.2008
Образец цитирования:
Н. А. Балдина, Б. В. Васекин, В. А. Гончаров, “Моделирование возникновения аномальной поперечной неоднородности распределения примеси в космических экспериментах по выращиванию кристаллов”, Матем. моделирование, 21:10 (2009), 67–75; Math. Models Comput. Simul., 2:3 (2010), 341–348
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm2891 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v21/i10/p67
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 528 | PDF полного текста: | 186 | Список литературы: | 48 | Первая страница: | 8 |
|