|
Математическое моделирование, 2009, том 21, номер 5, страницы 114–126
(Mi mm2838)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Математическая модель для расчета сегрегации индия и напряжений несоответствия в наноразмерных гетероструктурах InGaAs/GaAs
Р. Х. Акчуринa, Л. Б. Берлинерa, А. А. Малджыa, А. А. Мармалюкb a МИТХТ им. М. В. Ломоносова, Москва
b ООО "Сигм Плюс", Москва
Аннотация:
Предложена модель для прогнозирования концентрационных профилей индия и напряжений несоответствия в многослойных гетероструктурах InGaAs/GaAs, формируемых методом МОС-гидридной эпитаксии. Моделирование основано на рассмотрении процесса эпитаксиального роста как последовательности формирования воображаемых эпитаксиальных слоев с толщиной, равной параметру кристаллической решетки. Для каждого такого слоя определяются упругие напряжения и вызванное ими смещение термодинамического равновесия, определяющее изменение состава наращиваемого твердого раствора InGaAs. Приводятся результаты расчета концентрационных профилей индия и профилей эффективных сдвиговых напряжений, определяющих вероятность образования дислокаций несоответствия в гетероструктурах с одиночными и множественными квантовыми ямами.
Поступила в редакцию: 27.12.2007
Образец цитирования:
Р. Х. Акчурин, Л. Б. Берлинер, А. А. Малджы, А. А. Мармалюк, “Математическая модель для расчета сегрегации индия и напряжений несоответствия в наноразмерных гетероструктурах InGaAs/GaAs”, Матем. моделирование, 21:5 (2009), 114–126
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm2838 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v21/i5/p114
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 718 | PDF полного текста: | 252 | Список литературы: | 94 | Первая страница: | 25 |
|