|
Математическое моделирование, 1989, том 1, номер 10, страницы 70–79
(Mi mm2638)
|
|
|
|
Математические модели явлений и процессов
Моделирование процесса выхода вещества с поверхности облучаемых полимерных резистов
Т. М. Махвиладзе, Е. Г. Пантелеев, М. Е. Сарычев
Аннотация:
В работе проведено моделирование процесса выхода из облучаемого ионами полимерного резиста низкомолекулярных соединений (фрагментов), образующихся под действием облучения. На основе модели диффузионного травления полимеров определены и проанализированы кинетические режимы, определяющие временные зависимости потоков вещества с облучаемой поверхности. Рассмотрены случаи непрерывного и импульсного облучения. Сравнение полученных зависимостей с результатами известных из литературы экспериментов позволило оценить скорость ухода фрагментов с поверхности, константу скорости рекомбинации и коэффициент их диффузии.
Поступила в редакцию: 20.04.1989
Образец цитирования:
Т. М. Махвиладзе, Е. Г. Пантелеев, М. Е. Сарычев, “Моделирование процесса выхода вещества с поверхности облучаемых полимерных резистов”, Матем. моделирование, 1:10 (1989), 70–79
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm2638 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v1/i10/p70
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 195 | PDF полного текста: | 96 | Список литературы: | 1 | Первая страница: | 1 |
|