Алгоритмы квазигидродинамической модели для расчета процессов в электронной плазме субмикронных полупроводниковых структур

Предложен метод численного решения системы уравнений физики полупроводников, описывающей поведение неравновесной электронной плазмы в полупроводниковых структурах. Электронная плазма рассматривается в квазигидродинамическом приближении. Для уравнений непрерывности и баланса энергии строятся монотонные разностные схемы. Предложена полунеявная схема совместного решения уравнений квазигидродинамики и уравнения Пуассона. Приведены результаты расчетов переходных процессов в кремниевых и арсенидгаллиевых полевых транзисторах с затвором Шоттки. Табл. 2. Ил. 3. Библиогр. 26 назв.