Математическое моделирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Математическое моделирование, 1990, том 2, номер 10, страницы 13–25 (Mi mm2462)  
Вычислительный эксперимент в науке и технике

Численное моделирование формирования субмикронных легированных областей в полупроводниковых структурах

А. Ф. Буренков, А. И. Кирковский, В. А. Цуркоa

a Институт математики НАН Беларуси
PDF полного текста (1617 kB)
Аннотация: Рассматриваются вычислительные аспекты моделирования распределения легирующих примесей в результате термического отжига кремниевых пластин. Разностные схемы строятся на нерегулярной подвижной сетке, учитывающей характер изменения решения. Приводятся примеры моделирования технологии формирования сток-истоковых областей МОП-приборов и активных областей биполярных транзисторов.
Поступила в редакцию: 09.04.1990
Реферативные базы данных:
УДК: 519.63
Образец цитирования: А. Ф. Буренков, А. И. Кирковский, В. А. Цурко, “Численное моделирование формирования субмикронных легированных областей в полупроводниковых структурах”, Матем. моделирование, 2:10 (1990), 13–25
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BurKirTsu90}
\by А.~Ф.~Буренков, А.~И.~Кирковский, В.~А.~Цурко
\paper Численное моделирование формирования субмикронных легированных областей в~полупроводниковых структурах
\jour Матем. моделирование
\yr 1990
\vol 2
\issue 10
\pages 13--25
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm2462}
\zmath{https://zbmath.org/?q=an:0974.82500}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm2462
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm/v2/i10/p13
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Математическое моделирование
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:360
    PDF полного текста:140
    Список литературы:1
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024