Одномерная модель диффузии в системе поликремний-кремний

Рассматривается модель диффузии примеси в слое поликристаллического кремния. Переменными модели являются поверхностная концентрация примеси в межзеренной границе и объемная концентрация в зерне. Выводятся уравнения модели, учитывающие увеличение среднего размера зерна, сегрегацию примеси на межзеренной границе, накопление примеси на границах поликремний-кремний и поликремний -окисел. Показана возможность учета влияния толщины промежуточного квазиокисного слоя на диффузию в граничных условиях модели. Проведено сравнение результатов моделирования с экспериментальными данными.