Математическое моделирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Математическое моделирование, 1990, том 2, номер 7, страницы 62–84 (Mi mm2412)  
Математические модели явлений и процессов

Математическое моделирование процессов роста $\mathrm{GaAs}/\mathrm{AlGaAs}$ структур в проточных газоэпитаксиальных реакторах

А. И. Жмакин, Ю. Н. Макаров

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
PDF полного текста (2928 kB)
Аннотация: Дан обзор математических моделей, используемых для численного исследования стационарных и нестационарных процессов в проточных газоэпитаксиальных реакторах. Рассмотрены модели течения, а также модели массопереноса при выращивании структур в системе алюминий-галлий-мышьяк из смеси триметилгаллий-триметилалюминий-арсин-водород.
Поступила в редакцию: 21.09.1989
Реферативные базы данных:
УДК: 532.516:621.382.002
Образец цитирования: А. И. Жмакин, Ю. Н. Макаров, “Математическое моделирование процессов роста $\mathrm{GaAs}/\mathrm{AlGaAs}$ структур в проточных газоэпитаксиальных реакторах”, Матем. моделирование, 2:7 (1990), 62–84
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZhmMak90}
\by А.~И.~Жмакин, Ю.~Н.~Макаров
\paper Математическое моделирование процессов роста $\mathrm{GaAs}/\mathrm{AlGaAs}$ структур в~проточных газоэпитаксиальных реакторах
\jour Матем. моделирование
\yr 1990
\vol 2
\issue 7
\pages 62--84
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm2412}
\zmath{https://zbmath.org/?q=an:0993.82503}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm2412
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm/v2/i7/p62
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Математическое моделирование
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:466
    PDF полного текста:310
    Список литературы:1
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024