Математическое моделирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Математическое моделирование, 1992, том 4, номер 6, страницы 13–26 (Mi mm2084)  
Математические модели и вычислительный эксперимент

Задачи и средства математического моделирования технологии кремниевых интегральных схем

В. В. Меняйленко, В. А. Мороз, А. А. Руденко
PDF полного текста (1616 kB)
Аннотация: На примере термической диффузии охарактеризованы основные этапы развития физико-математических моделей технологии кремниевых ИС, параллельного эволюции сложности приборов, начиная с середины 70-х годов по настоящее время. Приведен сравнительный анализ программных комплексов для моделирования отдельных процессов и технологии ИС в целом. Рассмотрены особенности и области практического использования таких комплексов, созданных на основе одномерных и двумерных моделей процессов. Дан прогноз перспектив средств математического моделирования технологии ИС.
Поступила в редакцию: 03.06.1991
УДК: 681.3.06.001.57:621.3.649.77.002
Образец цитирования: В. В. Меняйленко, В. А. Мороз, А. А. Руденко, “Задачи и средства математического моделирования технологии кремниевых интегральных схем”, Матем. моделирование, 4:6 (1992), 13–26
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MenMorRud92}
\by В.~В.~Меняйленко, В.~А.~Мороз, А.~А.~Руденко
\paper Задачи и средства математического моделирования технологии кремниевых интегральных схем
\jour Матем. моделирование
\yr 1992
\vol 4
\issue 6
\pages 13--26
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm2084}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm2084
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm/v4/i6/p13
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Математическое моделирование
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024