Математическое моделирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Математическое моделирование, 1992, том 4, номер 2, страницы 15–20 (Mi mm2040)  
Математические модели и вычислительный эксперимент

Моделирование кинетики газофазных реакций стимулируемого плазмой химического осаждения кремния из силана

А. Ф. Стекольников, О. М. Иванов, А. Е. Переверзев, Д. В. Фещенко

Минский радиотехнический институт
PDF полного текста (604 kB)
Аннотация: Создана модель газофазных реакций и на ее основе рассчитана кинетика стимулируемого плазмой химического осаждения кремния из силана. Показано, что основную роль в процессе разложения силана и осаждения кремния играют нейтральные радикалы $\mathrm{SiH}_3$ и $\mathrm{SiH}_2$. Заряженные частицы (ионы и ион-радикалы) не оказывают существенного влияния на кинетику процесса.
Поступила в редакцию: 18.07.1991
Образец цитирования: А. Ф. Стекольников, О. М. Иванов, А. Е. Переверзев, Д. В. Фещенко, “Моделирование кинетики газофазных реакций стимулируемого плазмой химического осаждения кремния из силана”, Матем. моделирование, 4:2 (1992), 15–20
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SteIvaPer92}
\by А.~Ф.~Стекольников, О.~М.~Иванов, А.~Е.~Переверзев, Д.~В.~Фещенко
\paper Моделирование кинетики газофазных реакций стимулируемого плазмой химического осаждения кремния из силана
\jour Матем. моделирование
\yr 1992
\vol 4
\issue 2
\pages 15--20
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm2040}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm2040
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm/v4/i2/p15
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Математическое моделирование
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025