|
Математическое моделирование, 1994, том 6, номер 9, страницы 68–78
(Mi mm1910)
|
|
|
|
Вычислительные методы и алгоритмы
Задачи математического моделирования окисления кремния
К. А. Волосов, Л. Б. Архипенко Московский институт электронного машиностроения
Аннотация:
В статье описана модель окисления кремния. Вычислены функции концентрации входящих в реакцию
веществ, как комбинация погранфункций, связанных с малым параметром задачи $\varepsilon$. Решение
является асимптотическим.
Поступила в редакцию: 10.05.1990 Исправленный вариант: 14.10.1993
Образец цитирования:
К. А. Волосов, Л. Б. Архипенко, “Задачи математического моделирования окисления кремния”, Матем. моделирование, 6:9 (1994), 68–78
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm1910 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v6/i9/p68
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 314 | PDF полного текста: | 149 | Первая страница: | 1 |
|