|
Математическое моделирование, 1996, том 8, номер 11, страницы 76–86
(Mi mm1641)
|
|
|
|
Математические модели и вычислительный эксперимент
Выращивание монокристаллов по методу Чохральского в магнитном поле при пропускании через расплав электрического тока
А. Л. Гончаров, Д. А. Зейналов, А. И. Погодин, И. В. Старшинова, И. В. Фрязинов
Аннотация:
В работе проводится сравнение результатов численных и натурных экспериментов по распределению легирующей примеси в кристаллах, выращиваемых по методу Чохральского в магнитном поле, в том числе, и при пропускании через расплав электрического тока. Показано, как с помощью серии расчетов получить параметры выращивания, обеспечивающие малый разброс примеси как по радиусу, так и по длине кристалла.
Поступила в редакцию: 23.11.1994
Образец цитирования:
А. Л. Гончаров, Д. А. Зейналов, А. И. Погодин, И. В. Старшинова, И. В. Фрязинов, “Выращивание монокристаллов по методу Чохральского в магнитном поле при пропускании через расплав электрического тока”, Матем. моделирование, 8:11 (1996), 76–86
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm1641 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v8/i11/p76
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 675 | PDF полного текста: | 630 | Первая страница: | 2 |
|