Математическое моделирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Математическое моделирование, 1997, том 9, номер 5, страницы 68–76 (Mi mm1415)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Математические модели и вычислительный эксперимент

Моделирование диффузии примесей при термическом отжиге системы поликремний-кремний

О. И. Величкоa, Ф. Ф. Комаровb, Н. М. Лукановc, А. Н. Мучинскийd, Н. Л. Прохоренкоe, В. А. Цуркоd

a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
b Белорусский государственный университет
c Научно-производственный координационный центр "Интерсигнал"
d Институт математики НАН Беларуси
e Институт технической кибернетики НАН Беларуси
PDF полного текста (967 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: Построена модель процессов переноса примесных атомов в системе поликремний-кремний, описывающая явление сегрегации примеси вблизи границы раздела фаз. Разработан алгоритм решения системы квазилинейных уравнений диффузии и проведены численные расчеты процесса совместной диффузии мышьяка и бора с учетом неоднородного распределения дефектов вблизи границы раздела фаз.
Поступила в редакцию: 24.09.1996
Реферативные базы данных:
УДК: 681.3+519.6
Образец цитирования: О. И. Величко, Ф. Ф. Комаров, Н. М. Луканов, А. Н. Мучинский, Н. Л. Прохоренко, В. А. Цурко, “Моделирование диффузии примесей при термическом отжиге системы поликремний-кремний”, Матем. моделирование, 9:5 (1997), 68–76
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VelKomLuk97}
\by О.~И.~Величко, Ф.~Ф.~Комаров, Н.~М.~Луканов, А.~Н.~Мучинский, Н.~Л.~Прохоренко, В.~А.~Цурко
\paper Моделирование диффузии примесей при термическом отжиге системы поликремний-кремний
\jour Матем. моделирование
\yr 1997
\vol 9
\issue 5
\pages 68--76
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm1415}
\zmath{https://zbmath.org/?q=an:0993.82504}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm1415
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm/v9/i5/p68
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Математическое моделирование
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:702
    PDF полного текста:433
    Первая страница:3
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024