|
Математическое моделирование, 1998, том 10, номер 4, страницы 13–22
(Mi mm1265)
|
|
|
|
Математические модели и вычислительный эксперимент
Математическая модель экранируемого напыления
Л. А. Севастьянов Российский университет дружбы народов
Аннотация:
Анализ эффектов объемного экранирования в процессе вакуумного напыления на подложку произвольной формы показывает, что математическая модель во всех случаях описывается интегральным уравнением первого рода.
Поступила в редакцию: 27.08.1997
Образец цитирования:
Л. А. Севастьянов, “Математическая модель экранируемого напыления”, Матем. моделирование, 10:4 (1998), 13–22
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm1265 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v10/i4/p13
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 341 | PDF полного текста: | 175 | Первая страница: | 1 |
|