Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 1987, том 57, выпуск 10, страницы 1957–1961 (Mi jtf927)  

Управление плотностью эффективного поверхностного заряда в МДП структуре с пленкой триоксида вольфрама

В. В. Кукуев, Е. А. Тутов, Э. П. Домашевская, М. В. Яновская, В. Е. Обвинцева, Ю. Н. Веневцев

Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л. Я. Карпова, Москва
Аннотация: Определены плотность встроенного заряда и плотность поверхностных состояний в МДП структуре с пленкой WO$_{3}$, полученной конденсацией в вакууме и из растворов алкоголятов вольфрама. Показано, что этими параметрами можно управлять термообработкой в вакууме или на воздухе. Увеличение оптической плотности пленок триоксида вольфрама при термохромном процессе сопровождается увеличением отрицательного встроенного заряда и плотности поверхностных состояний.
Поступила в редакцию: 03.11.1986
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.703.1
Образец цитирования: В. В. Кукуев, Е. А. Тутов, Э. П. Домашевская, М. В. Яновская, В. Е. Обвинцева, Ю. Н. Веневцев, “Управление плотностью эффективного поверхностного заряда в МДП структуре с пленкой триоксида вольфрама”, ЖТФ, 57:10 (1987), 1957–1961
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KukTutDom87}
\by В.~В.~Кукуев, Е.~А.~Тутов, Э.~П.~Домашевская, М.~В.~Яновская, В.~Е.~Обвинцева, Ю.~Н.~Веневцев
\paper Управление плотностью эффективного поверхностного заряда в~МДП
структуре с~пленкой триоксида вольфрама
\jour ЖТФ
\yr 1987
\vol 57
\issue 10
\pages 1957--1961
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf927}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf927
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v57/i10/p1957
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:61
    PDF полного текста:24
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024