|
Журнал технической физики, 1987, том 57, выпуск 10, страницы 1951–1956
(Mi jtf926)
|
|
|
|
Некоторые закономерности эмиссии молекулярных вторичных ионов вида
Ga$_{n}$As$^{+}_{m}$
Ю. А. Климовский Физико-технический институт низких температур АН УССР, Харьков
Аннотация:
Рассмотрена эмиссия молекулярных вторичных ионов вида
Ga$_{n}$As$^{+}_{m}$ выбиваемых пучком ионов аргона с энергией 2 кэВ
и плотностью тока $0.6\,\text{мкА/см}^{2}$ из граней (100) и (111)
арсенида галлия, а также из эпитаксиальной пленки
Ga$_{x}$Al$_{1-x}$As$^{+}$, выращенной на грани (100) арсенида галлия.
Показано, что относительная интенсивность масс-линий молекулярных ионов вида
Ga$_{n}$As$^{+}_{m}$ практически совпадает для этих образцов. Из различия в топологии
сеток поверхностных атомов граней (100) и (111), а также совпадения интенсивности
соответствующих молекулярных ионов делается вывод, что в данном случае работает механизм
не ассоциативного образования ионов из отдельных выбитых атомов, а вырывания их
из решетки как целого. Обнаружено, что тенденции в изменении интенсивности масс-линий
рядов GaAs$_{k-1}^{+}$ (${k=1}$, 2, 3) и Ga$_{2}$As$_{k-2}^{+}$ (${k=2}$, 3, 4),
а также Ga$_{k-1}$As$^{+}$ (${k=2}$, 3, 4, 5) и Ga$_{k-2}$As$_{2}^{+}$
(${k=2}$, 3, 4) подобны для первой и второй пары, но резко отличается между двумя парами.
Поступила в редакцию: 05.06.1986
Образец цитирования:
Ю. А. Климовский, “Некоторые закономерности эмиссии молекулярных вторичных ионов вида
Ga$_{n}$As$^{+}_{m}$”, ЖТФ, 57:10 (1987), 1951–1956
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf926 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v57/i10/p1951
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 52 | PDF полного текста: | 25 |
|