Высокочастотный разряд в потоке молекулярных газов при средних давлениях

Разработана методика расчета параметров плазмы высокочастотного емкостного разряда по экспериментально определяемым электрическим характеристикам. Показано, что вольт-амперная характеристика (ВАХ) ВЧ разряда в воздухе имеет падающий характер. По измеренной с помощью СВЧ интерферометра концентрации электронов определена электронная проводимость плазмы. Полная проводимость плазмы, рассчитанная из ВАХ, при малых плотностях тока превосходит электронную. Определенная по разности проводимостей концентрация отрицательных ионов достигает значений $10^{11}\,\text{см}^{-3}$ и более, что на 2 порядка превосходит концентрацию электронов. Проведен расчет ВАХ из уравнений электронной и ионной кинетики с учетом процессов отлипания электронов от отрицательных ионов. Удовлетворительное совпадение расчетов с экспериментами подтверждает существенную роль отлипания в балансе частиц в плазме ВЧ разряда. Обнаруженные в ряде режимов колебания электронной концентрации и интенсивности свечения плазмы не приводят к переходу емкостного ВЧ разряда в контрагированную форму.