|
Журнал технической физики, 1987, том 57, выпуск 7, страницы 1310–1316
(Mi jtf794)
|
|
|
|
Плазма
Высокочастотный разряд в потоке молекулярных газов при средних
давлениях
А. С. Смирнов, К. С. Фролов, Ю. И. Шевченко
Аннотация:
Разработана методика расчета параметров плазмы
высокочастотного емкостного разряда по экспериментально определяемым
электрическим характеристикам. Показано, что вольт-амперная характеристика
(ВАХ) ВЧ разряда в воздухе имеет падающий характер. По измеренной с помощью
СВЧ интерферометра концентрации электронов определена электронная
проводимость плазмы. Полная проводимость плазмы, рассчитанная из ВАХ, при малых
плотностях тока превосходит электронную. Определенная по разности проводимостей
концентрация отрицательных ионов достигает значений
$10^{11}\,\text{см}^{-3}$ и более, что на 2 порядка превосходит концентрацию
электронов. Проведен расчет ВАХ из уравнений электронной и ионной кинетики
с учетом процессов отлипания электронов от отрицательных ионов.
Удовлетворительное совпадение расчетов с экспериментами подтверждает
существенную роль отлипания в балансе частиц в плазме ВЧ разряда.
Обнаруженные в ряде режимов колебания электронной концентрации
и интенсивности свечения плазмы не приводят к переходу емкостного ВЧ
разряда в контрагированную форму.
Поступила в редакцию: 24.01.1986 Исправленный вариант: 10.09.1986
Образец цитирования:
А. С. Смирнов, К. С. Фролов, Ю. И. Шевченко, “Высокочастотный разряд в потоке молекулярных газов при средних
давлениях”, ЖТФ, 57:7 (1987), 1310–1316
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf794 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v57/i7/p1310
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 44 | PDF полного текста: | 23 |
|