Изучение диодных свойств двойного слоя комбинированного газового разряда

Показано, что при зажигании вблизи поверхности обрабатываемого изделия, размещенного в резонаторной камере, комбинированного газового разряда, возникает двойной слой, обладающий диодными свойствами. Повышение уровня подводимой в камеру СВЧ мощности привело к уменьшению сопротивлений эквивалентного диода в открытом и закрытом режимах и увеличению тока, протекающего через установку. Попадающие на поверхность изделия ионы ионизированного СВЧ полем технологического газа (азота или аргона), наполняющего камеру, диффундируют внутрь изделия в результате процесса термодиффузии, что привело к образованию упрочняющего поверхностного слоя. Разогрев изделия происходил при подаче на него положительного потенциала смещения потоком поступающих на поверхность высокоэнергичных электронов, ускоренных до энергий в десятки и сотни электронвольт в зоне ускорения разряда.