|
Плазма
Оптимизация газовых смесей многополосных эксиламп
А. М. Бойченкоa, М. С. Кленовскийb, Э. А. Соснинcd, В. Ф. Тарасенкоcd a Институт фундаментальных проблем теоретической физики и математики, 123022 Москва, Россия
b Высшая школа химической технологии, 16628 Прага, Чехия
c Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск
d Национальный исследовательский Томский государственный университет
Аннотация:
Рассмотрена проблема оптимизации газоразрядных источников многополосного ультрафиолетового излучения – эксиламп. Предложена методика по оценке соотношения парциальных давлений компонент газовой смеси, позволяющая упростить процесс разработки многополосной эксилампы с желаемым соотношением мощностей излучения полос. Показано, что оптимизация многополосной эксилампы на смеси одного инертного газа с несколькими галогеноносителями может быть сведена к задаче оптимизации эксилампы на двухкомпонентной смеси. В случае необходимости использования, наряду с излучением эксиплексных, излучения также и эксимерных молекул, данная методика позволяет регулировать относительный вклад мощностей этих молекул.
Ключевые слова:
газовый разряд, источники ультрафиолетового излучения, кинетика плазмохимических процессов, эксимерные и эксиплексные молекулы.
Поступила в редакцию: 15.11.2022 Исправленный вариант: 31.01.2023 Принята в печать: 09.02.2023
Образец цитирования:
А. М. Бойченко, М. С. Кленовский, Э. А. Соснин, В. Ф. Тарасенко, “Оптимизация газовых смесей многополосных эксиламп”, ЖТФ, 93:4 (2023), 535–545
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6978 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v93/i4/p535
|
|