Структура и диэлектрические характеристики пленок SrTiO$_3$(111)/Al$_2$O$_3$(001), полученных высокочастотным распылением

В атмосфере кислорода с использованием одностадийного метода высокочастотного катодного распыления керамической мишени титаната стронция выращены тонкие пленки SrTiO$_3$ на подложке Al$_2$O$_3$(001). Показано, что полученные пленки SrTiO$_3$ толщиной $\sim$120 nm являются однофазными, монокристаллическими, шероховатость поверхности составила $\sim$8.5 nm, латеральный размер ростовых блоков $\sim$100 nm. Установлены величина деформации элементарной ячейки пленки в сравнении с объемным монокристаллом, взаимные ориентации между элементарными ячейками пленки и подложки, а также рассчитана ширина запрещенной зоны для прямого и непрямого разрешенных переходов. Измерены диэлектрические характеристики полученных пленок, свидетельствующие о их нахождении при установленной деформации элементарной ячейки в параэлектрической фазе при комнатной температуре.