Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2024, том 94, выпуск 8, страницы 1229–1239
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2024.08.58550.112-24 (Mi jtf6825) 		 
XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Физическая электроника

Послойный анализ многослойных неоднородных ультратонких пленок с субнанометровым разрешением

А. В. Лубенченкоa, О. И. Лубенченкоa, Д. А. Ивановa, Д. С. Лукьянцевa, А. Б. Паволоцкийb, О. Н. Павловa, И. В. Ивановаa

a НИУ Московский энергетический институт, 111250 Москва, Россия
b Chalmers University of Technology, 41296 Göoteborg, Sweden
PDF полного текста (788 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2024.08.58550.112-24
Аннотация: Предложен комплексный in situ метод неразрушающего количественного послойного химического фазового анализа многослойных многокомпонентных ультратонких пленок с субнанометровой точностью до глубин несколько десятков нанометров, основанный на рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением и спектроскопии характеристических потерь энергии фотоэлектронов. Проведен послойный химический фазовый анализ ультратонких пленок ниобия и нитрида ниобия, окисленных на воздухе.
Ключевые слова: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, послойный химический фазовый анализ, вычитание фона рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, разложение рентгеновской фотоэлектронной спектральной линии.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации FSWF-2023-0016
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации в рамках Государственного задания № FSWF-2023-0016.
Поступила в редакцию: 08.04.2024
Исправленный вариант: 08.04.2024
Принята в печать: 08.04.2024
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Лубенченко, О. И. Лубенченко, Д. А. Иванов, Д. С. Лукьянцев, А. Б. Паволоцкий, О. Н. Павлов, И. В. Иванова, “Послойный анализ многослойных неоднородных ультратонких пленок с субнанометровым разрешением”, ЖТФ, 94:8 (2024), 1229–1239
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LubLubIva24}
\by А.~В.~Лубенченко, О.~И.~Лубенченко, Д.~А.~Иванов, Д.~С.~Лукьянцев, А.~Б.~Паволоцкий, О.~Н.~Павлов, И.~В.~Иванова
\paper Послойный анализ многослойных неоднородных ультратонких пленок с субнанометровым разрешением
\jour ЖТФ
\yr 2024
\vol 94
\issue 8
\pages 1229--1239
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf6825}
\crossref{https://doi.org/10.61011/JTF.2024.08.58550.112-24}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=72712041}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf6825
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v94/i8/p1229
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024