Получение неодносвязных магнитных паттернированных мезочастиц с помощью электронной литографии

В настоящее время паттернированные магнитные структуры вызывают большой интерес в связи с их потенциальным применением в спинтронике в качестве генераторов СВЧ излучения и элементов памяти. В частности, перспективной системой являются двумерные решетки ферромагнитных дисков, в которых реализуется вихревое распределение намагниченности. Разработаны новые методы электронной литографии и ионного травления, позволяющие с высокой точностью получить частицы заданной формы и размеров. Выполнено исследование микроструктуры и магнитных состояний неодносвязных магнитных частиц, сформированных из пленок пермаллоя методами аналитической и лоренцевой просвечивающей электронной микроскопии. Экспериментальные результаты демонстрируют хорошее согласие с данными, полученными микромагнитным моделированием.