Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2024, том 94, выпуск 7, страницы 1029–1035
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2024.07.58337.144-24 (Mi jtf6803) 		 
XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Твердое тело

Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн

Н. Н. Цыбин, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия
PDF полного текста (387 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2024.07.58337.144-24
Аннотация: Предложена методика создания свободновисящих пленочных элементов, предназначенных для коррекции аберраций волнового фронта излучения в оптических схемах с рабочей длиной волны в спектральной области мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов. Изготовлены образцы пленочных структур, служащих исходной основой при формировании фазовых корректоров с характерной величиной модуляции фазы, соответствующей оптической разности хода $\sim$1 nm на длине волны 13.5 nm, и с однородным по апертуре пропусканием не менее 60%. Продемонстрирована возможность использования ионного травления для локального изменения толщины свободновисящих многослойных пленок.
Ключевые слова: многослойные свободновисящие пленки, корректор волнового фронта, ионно-пучковое травление, мягкий рентгеновский и экстремальный ультрафиолетовый диапазон длин волн.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 075-15-2021-1350
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования, соглашение № 075-15-2021-1350 от 5 октября 2021 г. (внутренний номер 15.СиН.21.0004).
Поступила в редакцию: 26.04.2024
Исправленный вариант: 26.04.2024
Принята в печать: 26.04.2024
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. Н. Цыбин, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн”, ЖТФ, 94:7 (2024), 1029–1035
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{TsyKlyLop24}
\by Н.~Н.~Цыбин, Е.~Б.~Клюенков, А.~Я.~Лопатин, В.~И.~Лучин, А.~Е.~Пестов, Н.~И.~Чхало
\paper Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн
\jour ЖТФ
\yr 2024
\vol 94
\issue 7
\pages 1029--1035
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf6803}
\crossref{https://doi.org/10.61011/JTF.2024.07.58337.144-24}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=72709680}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf6803
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v94/i7/p1029
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025