|
Твердотельная электроника
Формирование световыводящей поверхности инфракрасных (850 nm) светоизлучающих диодов
А. В. Малевская, Н. А. Калюжный, Д. А. Малевский, А. А. Блохин, М. В. Нахимович, Н. Д. Ильинская Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Выполнены исследования в области постростовой технологии изготовления инфракрасных (850 nm) светоизлучающих диодов на основе AlGaAs/GaAs-гетероструктур, выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии. Исследованы различные методы текстурирования и просветления световыводящей поверхности диодов, разработана технология формирования оптических элементов. Проведен анализ взаимосвязи технологии формирования чипов и фотоэлектрических параметров светоизлучающих диодов: интенсивности электролюминесценции, оптической мощности и внешней квантовой эффективности. В результате применения проведенных разработок достигнуто двукратное увеличение оптической мощности диодов, которая составила > 400 mW при токе 800 mА.
Ключевые слова:
инфракрасный светоизлучающий диод, текстурирование, просветляющее покрытие, оптический элемент.
Поступила в редакцию: 22.02.2024 Исправленный вариант: 05.04.2024 Принята в печать: 10.04.2024
Образец цитирования:
А. В. Малевская, Н. А. Калюжный, Д. А. Малевский, А. А. Блохин, М. В. Нахимович, Н. Д. Ильинская, “Формирование световыводящей поверхности инфракрасных (850 nm) светоизлучающих диодов”, ЖТФ, 94:6 (2024), 888–893
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6788 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v94/i6/p888
|
|