|
Журнал технической физики, 2016, том 86, выпуск 1, страницы 61–69
(Mi jtf6656)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Плазма
Магнетронный источник ускоренного плазменного потока
Л. П. Вересов, О. Л. Вересов Сухумский физико-технический институт
Аннотация:
Представлен новый источник ускоренного плазменного потока, предназначенный для нанесения качественных покрытий. В нем зажигается комбинация магнетронного разряда для распыления катодной мишени и высоковольтного разряда с продольной осцилляцией электронов для ионизации наработанного пара, плотность плазмы которого распределяется равномерно благодаря применению трехфазного ионизатора.
Поступила в редакцию: 16.02.2015 Исправленный вариант: 15.06.2015
Образец цитирования:
Л. П. Вересов, О. Л. Вересов, “Магнетронный источник ускоренного плазменного потока”, ЖТФ, 86:1 (2016), 61–69; Tech. Phys., 61:1 (2016), 59–67
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6656 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v86/i1/p61
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 33 | PDF полного текста: | 5 |
|