Влияние неупругих и упругих потерь энергии ионов Хе на развитие водородных блистеров в кремнии

Изучен эффект влияния облучения тяжелыми ионами на образование блистеров на поверхности кремния, предварительно ионно-легированного водородом. Путем изменения в широком интервале доз облучения и энергии бомбардирующих ионов Хе сделана попытка дифференцировать неупругие и упругие процессы взаимодействия ионов с атомами Si посредством использования методики облучения образца высокоэнергетическими заряженными частицами через изогнутый поглощающий фильтр. Установлено, что в зоне неупругого взаимодействия независимо от величины удельных ионизационных потерь энергии тяжелых ионов имеет место полное подавление образования блистеров в процессе послерадиационного отжига. В то же время в зоне упругого взаимодействия, наоборот, имеет место стимулированное развитие водородной пористости, проявляющееся в виде блистеров и флэкингов.