|
Журнал технической физики, 2016, том 86, выпуск 1, страницы 32–36
(Mi jtf6651)
|
|
|
|
Атомная и молекулярная физика
Влияние неупругих и упругих потерь энергии ионов Хе на развитие водородных блистеров в кремнии
В. Ф. Реутов, С. Н. Дмитриев, А. С. Сохацкий, А. Г. Залужный Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
Аннотация:
Изучен эффект влияния облучения тяжелыми ионами на образование блистеров на поверхности кремния, предварительно ионно-легированного водородом. Путем изменения в широком интервале доз облучения и энергии бомбардирующих ионов Хе сделана попытка дифференцировать неупругие и упругие процессы взаимодействия ионов с атомами Si посредством использования методики облучения образца высокоэнергетическими заряженными частицами через изогнутый поглощающий фильтр. Установлено, что в зоне неупругого взаимодействия независимо от величины удельных ионизационных потерь энергии тяжелых ионов имеет место полное подавление образования блистеров в процессе послерадиационного отжига. В то же время в зоне упругого взаимодействия, наоборот, имеет место стимулированное развитие водородной пористости, проявляющееся в виде блистеров и флэкингов.
Поступила в редакцию: 17.03.2015
Образец цитирования:
В. Ф. Реутов, С. Н. Дмитриев, А. С. Сохацкий, А. Г. Залужный, “Влияние неупругих и упругих потерь энергии ионов Хе на развитие водородных блистеров в кремнии”, ЖТФ, 86:1 (2016), 32–36; Tech. Phys., 61:1 (2016), 28–32
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6651 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v86/i1/p32
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 25 | PDF полного текста: | 5 |
|