Физические свойства пленок углерода, полученных при пиролизе метана в электрическом поле

Описан способ синтеза углеродных пленок при пиролизе метана в электрическом поле на монокристаллических подложках кремния. Выполнены расчеты развиваемых давления и температуры при бомбардировании подложки ионами углерода C$^{-4}$ в процессе пиролиза, в результате чего возникают центры образования зародышей в форме волокон диаметром $\sim$2 $\mu$m для роста кристаллической пленки. Проведено исследование полученного материала методами электронной микроскопии, а также фото- и катодолюминесценции. Показано, что синтезированные пленки представляют собой композиционный материал, в углеродной матрице которого содержатся наноразмерные кластеры иной кристаллической природы. Обнаружен эффект 2-х стадийного значительного снижения электрического сопротивления материала пленок при увеличении их температуры от 300 до 1750 K, что является проявлением полупроводниковых свойств углерода в достаточно массивных его образцах.