|
Журнал технической физики, 2016, том 86, выпуск 4, страницы 101–105
(Mi jtf6585)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Физика низкоразмерных структур
Особенности процесса воздействия лазерного излучения на тонкие пленки молибдена
А. В. Волковab, Н. Л. Казанскийab, О. Ю. Моисеевa, В. Д. Паранинb, С. Д. Полетаевab, И. В. Чистяковc a Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия
b Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (национальный исследовательский университет), Самара, Россия
c ООО Интерлаб, г. Москва
Аннотация:
Проведены исследования процесса воздействия лазерного излучения на пленки молибдена толщиной менее 100 nm. Представлены экспериментальные доказательства гипотезы, согласно которой пленки тугоплавких металлов способны подвергаться абляции при воздействии лазерного излучения за счет образования промежуточной оксидной фазы. Объяснен эффект трехкратного уменьшения ширины зоны абляции при воздействии сканирующего лазерного излучения.
Поступила в редакцию: 02.03.2015
Образец цитирования:
А. В. Волков, Н. Л. Казанский, О. Ю. Моисеев, В. Д. Паранин, С. Д. Полетаев, И. В. Чистяков, “Особенности процесса воздействия лазерного излучения на тонкие пленки молибдена”, ЖТФ, 86:4 (2016), 101–105; Tech. Phys., 61:4 (2016), 579–583
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6585 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v86/i4/p101
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 52 | PDF полного текста: | 16 |
|