|
Журнал технической физики, 2016, том 86, выпуск 5, страницы 141–144
(Mi jtf6565)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Физическая электроника
Влияние давления рабочего газа на магнитные свойства и текстуру поликристаллических пленок Fe/SiO$_{2}$/Si(100), полученных магнетронным распылением
Ю. В. Никулинab, А. С. Джумалиевab, Ю. А. Филимоновabc a Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
b Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского
c Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю. А.
Аннотация:
Исследованы магнитные свойства и текстура поликристаллических пленок Fe/SiO$_{2}$/Si(100) толщиной 90 nm, полученных магнетронным распылением при различном давлении рабочего газа. Показано, что снижение давления может приводить к росту намагниченности пленок на 50% и уменьшению ширины линии ферромагнитного резонанса и поля коэрцитивности более чем на порядок. Указанные изменения магнитных свойств отражают смену текстуры пленок с Fe(110) на Fe(200) и переход от столбчатой микроструктуры к квазиоднородной.
Поступила в редакцию: 24.09.2015
Образец цитирования:
Ю. В. Никулин, А. С. Джумалиев, Ю. А. Филимонов, “Влияние давления рабочего газа на магнитные свойства и текстуру поликристаллических пленок Fe/SiO$_{2}$/Si(100), полученных магнетронным распылением”, ЖТФ, 86:5 (2016), 141–144; Tech. Phys., 61:5 (2016), 779–782
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6565 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v86/i5/p141
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 57 | PDF полного текста: | 15 |
|