|
Журнал технической физики, 2016, том 86, выпуск 8, страницы 118–124
(Mi jtf6482)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Физическое материаловедение
Влияние режимов имплантации ионов серебра на структуру и оптические свойства нанокристаллических пленок оксида цинка
Н. М. Лядовab, А. И. Гумаровb, В. Ф. Валеевa, В. И. Нуждинa, В. А. Шустовa, В. В. Базаровa, И. А. Файзрахмановab a Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского, КазНЦ РАН
b Казанский (Приволжский) федеральный университет
Аннотация:
Тонкие, толщиной $\sim$270 nm, нанокристаллические пленки оксида цинка (ZnO) были получены на кварцевых подложках методом ионного распыления и затем подвергнуты облучению ионами Ag$^{+}$ с энергией 30 keV с высокими дозами при трех значениях плотности ионного тока: 4, 8 и 12 $\mu$A/cm$^{2}$. Методами рентгеноструктурного анализа, сканирующей электронной микроскопии и оптической спектроскопии исследовано влияние дозы облучения и плотности ионного тока на модификацию структуры и оптических свойств пленок ZnO. Обнаружено нетривиальное поведение структурных и оптических параметров пленок от режимов ионного облучения, что связано с радиационным нагревом и распылением пленки под действием ионного пучка, процессами диффузии примеси и формирования наночастиц серебра в облученном слое при высоких дозах имплантации, а также диффузией имплантированной примеси при повышенных плотностях ионного тока.
Поступила в редакцию: 30.11.2015
Образец цитирования:
Н. М. Лядов, А. И. Гумаров, В. Ф. Валеев, В. И. Нуждин, В. А. Шустов, В. В. Базаров, И. А. Файзрахманов, “Влияние режимов имплантации ионов серебра на структуру и оптические свойства нанокристаллических пленок оксида цинка”, ЖТФ, 86:8 (2016), 118–124; Tech. Phys., 61:8 (2016), 1237–1243
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6482 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v86/i8/p118
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 39 | PDF полного текста: | 11 |
|