Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2016, том 86, выпуск 9, страницы 129–135 (Mi jtf6456)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Физическая электроника

Канал протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя

А. С. Лапин, В. А. Ребров, С. В. Колинько, В. Ф. Саливон, А. Г. Пономарев

Институт прикладной физики НАН Украины, г. Сумы
PDF полного текста (1636 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: Описана конструкция канала протонно-лучевой литографии как продолжение канала ядерного сканирующего микрозонда. Решена проблема точности позиционирования зонда путем создания новой высокочастотной электростатической сканирующей системы. Особое внимание уделено задаче по созданию зондоформирующей системы, рассмотрены различные ее конфигурации. На основании решения оптимизационной задачи по формированию пучка протонов найдена зондоформирующая система, которая наилучшим образом отвечает требованиям для проведения литографического процесса. Разработана система управления сканированием пучка, основанная на применении многофункционального модуля интегральных схем программируемой логики.
Поступила в редакцию: 09.07.2015
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2016, Volume 61, Issue 9, Pages 1411–1417
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784216090140
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. С. Лапин, В. А. Ребров, С. В. Колинько, В. Ф. Саливон, А. Г. Пономарев, “Канал протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя”, ЖТФ, 86:9 (2016), 129–135; Tech. Phys., 61:9 (2016), 1411–1417
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LapRebKol16}
\by А.~С.~Лапин, В.~А.~Ребров, С.~В.~Колинько, В.~Ф.~Саливон, А.~Г.~Пономарев
\paper Канал протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя
\jour ЖТФ
\yr 2016
\vol 86
\issue 9
\pages 129--135
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf6456}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27368518}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2016
\vol 61
\issue 9
\pages 1411--1417
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784216090140}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf6456
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v86/i9/p129
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024