|
Журнал технической физики, 2016, том 86, выпуск 9, страницы 1–6
(Mi jtf6436)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 9 научных статьях (всего в 9 статьях)
Теоретическая и математическая физика
Численное моделирование процесса абляции тонких пленок молибдена под действием лазерного излучения
Н. Л. Казанскийab, С. Д. Полетаевab a Институт систем обработки изображений РАН, Самара
b Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С. П. Королёва
Аннотация:
Представлены результаты численного моделирования процесса воздействия лазерного излучения на пленку молибдена, нанесенную на кварцевую подложку. Результаты моделирования подтвердили экспериментально обнаруженный эффект трехкратного уменьшения размера зоны абляции по сравнению с размером фокального пятна. Средствами вычислительного эксперимента подтверждена гипотеза о двухэтапности процесса абляции металлической пленки с первоначальным образованием оксидной фазы. Доказано, что окисление приводит к избирательному снижению термического сопротивления пленки в вертикальном направлении, в результате чего усиливается анизотропный характер процесса абляции.
Поступила в редакцию: 05.05.2015
Образец цитирования:
Н. Л. Казанский, С. Д. Полетаев, “Численное моделирование процесса абляции тонких пленок молибдена под действием лазерного излучения”, ЖТФ, 86:9 (2016), 1–6; Tech. Phys., 61:9 (2016), 1279–1285
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6436 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v86/i9/p1
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 45 | PDF полного текста: | 8 |
|