Аппроксимация профиля зоны эрозии планарных магнетронов с дисковым катодом

Предложена универсальная аппроксимация нормированного профиля зоны эрозии планарных магнетронов с дисковым катодом составной функцией, включающей функцию плотности вероятности минимального значения распределения экстремальных значений для области от центра дискового катода до максимума зоны эрозии и функцию выживания распределения Вейбулла – от максимума до внешней границы зоны распыления. Проверка точности аппроксимации проводилась для шести магнетронов, отличающихся размерами катодов или конструкцией магнитных систем. Во всех случаях получено хорошее соответствие аппроксимации и экспериментально измеренных значений. Представленные результаты могут быть использованы для анализа процессов на катоде при распылении и для уточнения расчета профиля покрытий.