|
Журнал технической физики, 2016, том 86, выпуск 10, страницы 125–130
(Mi jtf6428)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 25 научных статьях (всего в 25 статьях)
Биомедицинская физика
Особенности формирования микроструктур с высоким аспектным соотношением при изготовлении полимерных микрофлюидных чипов для исследования единичных живых клеток in vitro
А. С. Букатинabc, И. С. Мухинad, Е. И. Малышевa, И. В. Кухтевичbcd, А. А. Евстраповacd, М. В. Дубинаa a Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Сибирский федеральный университет, г. Красноярск
c Институт аналитического приборостроения РАН, г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Технологии и методы прототипирования микрофлюидных устройств находят широкое применение при решении многих биологических задач и проверки работоспособности новых микроаналитических систем. Работа посвящена изучению особенностей формирования микроструктур в фоторезисте SU-8 и созданию реплик в полидиметилсилоксане методом “мягкой” литографии. Показано, что величина аспектного соотношения получаемых микроструктур определяется их формой, размерами, силой адгезии резиста к кремниевой подложке и эффективностью циркуляции проявителя вокруг микроструктур. На примере репликации сложных микроструктур достигнуто значение аспектного соотношения $\sim$25. Обсуждаемая в работе технология использована при изготовлении микрофлюидных чипов с “механическими” ловушками для фиксации и исследования единичных живых клеток in vitro.
Поступила в редакцию: 29.12.2015
Образец цитирования:
А. С. Букатин, И. С. Мухин, Е. И. Малышев, И. В. Кухтевич, А. А. Евстрапов, М. В. Дубина, “Особенности формирования микроструктур с высоким аспектным соотношением при изготовлении полимерных микрофлюидных чипов для исследования единичных живых клеток in vitro”, ЖТФ, 86:10 (2016), 125–130; Tech. Phys., 61:10 (2016), 1566–1571
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6428 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v86/i10/p125
|
|