Затухание продольных и сдвиговых акустических волн в структуре с пленками ZnO с прямой и наклонной текстурами

Представлены результаты исследования затухания продольных и сдвиговых гиперзвуковых акустических волн в структурах Al/ZnO/Al/ZnO/АИГ (алюмоиттриевый гранат, легированный лютецием) на основе пьезоактивных пленок ZnO с прямой и наклонной текстурой, синтезируемых при температурах подложки $T\approx$ 25–400$^\circ$C в несбалансированной планарной магнетронной распылительной системе. Показано, что аномально высокие значения затухания до 45 dB наблюдаются при прохождении продольных акустических волн через пленки ZnO с прямой текстурой, выращенные при температуре подложки $T\approx$ 200–300$^\circ$C, тогда как увеличение температуры осаждения до $T\approx$ 400$^\circ$C приводит к снижению величины вносимых акустических потерь на 30–40 dB.