Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 2017, том 87, выпуск 5, страницы 736–740
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2017.05.44447.2062
(Mi jtf6236)
 

Физическое материаловедение

Планаризация поверхности композиции “нанопористый диоксид кремния-диоксид титана” методом атомно-молекулярной химической сборки

В. В. Лучинин, М. Ф. Панов, А. А. Романов

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
Аннотация: Исследованы процессы, происходящие при планаризации поверхности нанопористого SiO$_{2}$ методом атомно-молекулярного наслаивания наноразмерных пленок TiO$_{2}$, в режимах, обеспечивающих различное проникновение TiO$_{2}$ в нанопоры SiO$_{2}$. Рассмотрены параметры технологического процесса, обеспечивающие различные режимы планаризации поверхности. Степень проникновения TiO$_{2}$ в нанопоры SiO$_{2}$ проконтролирована методом отражательной эллипсометрии путем измерения распределения показателя преломления по глубине структуры в рамках двуслойной модели.
Поступила в редакцию: 13.10.2016
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2017, Volume 62, Issue 5, Pages 755–759
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784217050164
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. В. Лучинин, М. Ф. Панов, А. А. Романов, “Планаризация поверхности композиции “нанопористый диоксид кремния-диоксид титана” методом атомно-молекулярной химической сборки”, ЖТФ, 87:5 (2017), 736–740; Tech. Phys., 62:5 (2017), 755–759
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LucPanRom17}
\by В.~В.~Лучинин, М.~Ф.~Панов, А.~А.~Романов
\paper Планаризация поверхности композиции ``нанопористый диоксид кремния-диоксид титана'' методом атомно-молекулярной химической сборки
\jour ЖТФ
\yr 2017
\vol 87
\issue 5
\pages 736--740
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf6236}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2017.05.44447.2062}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=29365786}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2017
\vol 62
\issue 5
\pages 755--759
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784217050164}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf6236
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v87/i5/p736
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:34
    PDF полного текста:9
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024