|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Физика низкоразмерных структур
Исследование структуры ультратонких поликристаллических пленок Fe, выращенных на поверхности SiO$_{2}$/Si(001)
В. В. Балашевab, В. В. Коробцовab a Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, г. Владивосток
b Школа естественных наук, Дальневосточный федеральный университет, г. Владивосток
Аннотация:
Методом дифракции быстрых электронов (ДБЭ) исследована структура поликристаллических пленок Fe, выращенных на окисленной поверхности Si(001) при комнатной температуре. Установлено, что ориентация зерен в выращенных пленках зависит от количества осажденного железа. Для пленок Fe толщиной менее 5 nm была характерна случайная ориентация зерен Fe. Пленки Fe толщиной более 5 nm имели (111) текстуру, ось которой совпадала с нормалью к поверхности. Угловое отклонение направления [111] решетки Fe относительно нормали к поверхности составляло $\pm$ 25$^\circ$. Обнаружено, что увеличение толщины пленки железа приводит к появлению (110) текстуры.
Поступила в редакцию: 26.04.2017
Образец цитирования:
В. В. Балашев, В. В. Коробцов, “Исследование структуры ультратонких поликристаллических пленок Fe, выращенных на поверхности SiO$_{2}$/Si(001)”, ЖТФ, 88:1 (2018), 75–79; Tech. Phys., 63:1 (2018), 73–77
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf6021 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v88/i1/p75
|
|