Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2018, том 88, выпуск 2, страницы 243–250
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2018.02.45416.2385 (Mi jtf5997) 		 
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Физика низкоразмерных структур

Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения пленок на 3D-структурах с высоким аспектным отношением

А. В. Фадеев, А. В. Мяконьких, К. В. Руденко

Физико-технологический институт РАН, г. Москва
PDF полного текста (160 kB) Список цитирования (6)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2018.02.45416.2385
Аннотация: Предложена теоретическая модель, позволяющая предсказать пространственный профиль пленки, нанесенной на стенки высокоаспектной структуры (тренча) методом атомно-слоевого осаждения, в зависимости от параметров процесса осаждения. Модель позволяет рассчитать оптимальное время дозирования прекурсора, необходимое для конформного покрытия стенок тренча. Получена приближенная формула, описывающая осаждение пленок равной толщины на стенки тренча, включающая два асимптотических режима осаждения при различных соотношениях между коэффициентом прилипания молекул прекурсора и аспектным отношением структуры тренча.
Поступила в редакцию: 13.06.2017
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2018, Volume 63, Issue 2, Pages 235–242
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784218020123
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Фадеев, А. В. Мяконьких, К. В. Руденко, “Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения пленок на 3D-структурах с высоким аспектным отношением”, ЖТФ, 88:2 (2018), 243–250; Tech. Phys., 63:2 (2018), 235–242
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FadMyaRud18}
\by А.~В.~Фадеев, А.~В.~Мяконьких, К.~В.~Руденко
\paper Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения пленок на 3D-структурах с высоким аспектным отношением
\jour ЖТФ
\yr 2018
\vol 88
\issue 2
\pages 243--250
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5997}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2018.02.45416.2385}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=32739984}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2018
\vol 63
\issue 2
\pages 235--242
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784218020123}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5997
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v88/i2/p243
    • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:32
    PDF полного текста:7
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024