Модификация кобальтом тонких пленок рутила при магнетронном распылении и вакуумном отжиге

Методами рентгенофазового анализа, атомно-силовой микроскопии и вторично-ионной спектрометрии исследовано фазообразование и перераспределение компонентов в пленочной системе Co–TiO$_{2}$ при магнетронном распылении металла на оксид и в ходе последующего вакуумного отжига. Установлена глубокая диффузия кобальта в оксид титана и образование сложных оксидов состава: CoTi$_{2}$O$_{5}$ и CoTiO$_{3}$. Предложен механизм их формирования на границах зерен по всей толщине пленки TiO$_{2}$, предполагающий реакционную диффузию кобальта по межзеренным границам оксида. Разработана количественная модель реакционной взаимодиффузии в двухслойных пленочных поликристаллических системах металл–оксид с ограниченной растворимостью компонентов. Определены значения индивидуальных коэффициентов диффузии кобальта и титана в диапазоне температур 923–1073 K.