|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Твердое тело
Исследование оптического Mo/Mo нанокристаллического покрытия, полученного напылением с одновременным ионным распылением
А. В. Роговab, Ю. В. Мартыненкоac, Ю. В. Капустинa, С. С. Фанченкоa, Н. Е. Беловаa a Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
b Координационный центр ``Управляемый термоядерный синтез – международные проекты'', Москва, Россия
c Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
Аннотация:
Представлены результаты исследования структуры, оптических свойств и стойкости к распылению отражающего Mo-покрытия, полученного методом магнетронного напылении с одновременным низкоэнергетическим ионным распылением в режиме превышения скорости напыления над скоростью травления. В качестве подложки использовалось Mo-поликристаллическое зеркало. Показано, что покрытие, сформированное в таких условиях, имеет текстурированную нанокристаллическую структуру с малым разбросом размеров кристаллитов и обладает высокой устойчивостью к распылению. Выявлено, что спектральный коэффициент отражения такого Mo-покрытия отличается от спектрального коэффициента отражения поликристаллического и монокристаллического Mo, а наблюдаемое отличие обусловлено влиянием структуры покрытия на его оптические свойства. Предложена теоретическая модель процесса формирования покрытия.
Поступила в редакцию: 14.03.2017 Исправленный вариант: 03.11.2017
Образец цитирования:
А. В. Рогов, Ю. В. Мартыненко, Ю. В. Капустин, С. С. Фанченко, Н. Е. Белова, “Исследование оптического Mo/Mo нанокристаллического покрытия, полученного напылением с одновременным ионным распылением”, ЖТФ, 88:5 (2018), 722–732; Tech. Phys., 63:5 (2018), 700–710
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5920 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v88/i5/p722
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 29 | PDF полного текста: | 9 |
|