Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2018, том 88, выпуск 6, страницы 914–919
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2018.06.46025.2544 (Mi jtf5902) 		 
Эта публикация цитируется в 13 научных статьях (всего в 13 статьях)

Электрофизика, электронные и ионные пучки, физика ускорителей

Высокоэффективный источник электронов с полым катодом для технологий осаждения тонких пленок и обработки поверхностей при форвакуумных давлениях

В. Г. Щукин, В. О. Константинов, В. С. Морозов

Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук
PDF полного текста (1029 kB) Список цитирования (13)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2018.06.46025.2544
Аннотация: Показано, что в форвакуумном диапазоне давлений в источниках электронов с полым катодом возможно получать низкоэнергетические пучки с высоким КПД в широком диапазоне токов пучка. Путем вариации геометрических параметров электродной системы и электромагнитной оптики источника электронов удалось достичь КПД на уровне 0.9 при ускоряющем потенциале 1 kV и токах пучка от 100 до 300 mA. Определены параметры, наиболее сильно влияющие на КПД и стабильность работы источника электронов с полым катодом.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 17-48-540665 р_а
Работа выполнена при поддержке РФФИ и Министерства образования, науки и инновационной политики Новосибирской области (проект № 17-48-540665 р_а).
Поступила в редакцию: 03.11.2017
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2018, Volume 63, Issue 6, Pages 888–893
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784218060191
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Г. Щукин, В. О. Константинов, В. С. Морозов, “Высокоэффективный источник электронов с полым катодом для технологий осаждения тонких пленок и обработки поверхностей при форвакуумных давлениях”, ЖТФ, 88:6 (2018), 914–919; Tech. Phys., 63:6 (2018), 888–893
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShcKonMor18}
\by В.~Г.~Щукин, В.~О.~Константинов, В.~С.~Морозов
\paper Высокоэффективный источник электронов с полым катодом для технологий осаждения тонких пленок и обработки поверхностей при форвакуумных давлениях
\jour ЖТФ
\yr 2018
\vol 88
\issue 6
\pages 914--919
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5902}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2018.06.46025.2544}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=34982864}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2018
\vol 63
\issue 6
\pages 888--893
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784218060191}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5902
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v88/i6/p914
    • Эта публикация цитируется в следующих 13 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:51
    PDF полного текста:37
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024