|
Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)
Электрофизика, электронные и ионные пучки, физика ускорителей
Высокоэффективный источник электронов с полым катодом для технологий осаждения тонких пленок и обработки поверхностей при форвакуумных давлениях
В. Г. Щукин, В. О. Константинов, В. С. Морозов Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук
Аннотация:
Показано, что в форвакуумном диапазоне давлений в источниках электронов с полым катодом возможно получать низкоэнергетические пучки с высоким КПД в широком диапазоне токов пучка. Путем вариации геометрических параметров электродной системы и электромагнитной оптики источника электронов удалось достичь КПД на уровне 0.9 при ускоряющем потенциале 1 kV и токах пучка от 100 до 300 mA. Определены параметры, наиболее сильно влияющие на КПД и стабильность работы источника электронов с полым катодом.
Поступила в редакцию: 03.11.2017
Образец цитирования:
В. Г. Щукин, В. О. Константинов, В. С. Морозов, “Высокоэффективный источник электронов с полым катодом для технологий осаждения тонких пленок и обработки поверхностей при форвакуумных давлениях”, ЖТФ, 88:6 (2018), 914–919; Tech. Phys., 63:6 (2018), 888–893
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5902 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v88/i6/p914
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 35 | PDF полного текста: | 20 |
|