|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Оптика
Формирование микротурбин методом прямой лазерной записи по фоторезисту
Р. В. Скидановab, О. Ю. Моисеевab, С. В. Ганчевскаяab a Институт систем обработки изображений РАН, Самара
b Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С. П. Королёва
Аннотация:
Описан метод формирования микромеханических элементов для приема вращательного момента (микротурбин) от вихревых световых пучков. Приведены результаты экспериментального изготовления большого количества микротурбин. Приводятся результаты измерения формы микротурбин на оптическом микроскопе, интерферометре белого света ZYGO и электронном микроскопе.
Поступила в редакцию: 09.03.2016
Образец цитирования:
Р. В. Скиданов, О. Ю. Моисеев, С. В. Ганчевская, “Формирование микротурбин методом прямой лазерной записи по фоторезисту”, ЖТФ, 88:6 (2018), 888–891; Tech. Phys., 63:6 (2018), 862–865
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5898 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v88/i6/p888
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 43 | PDF полного текста: | 24 |
|