Аннотация:
Пленки TiN, синтезированные на подложках лейкосапфира методом дуального магнетронного распыления, подвергли последующему отжигу в вакууме при 600, 700, 800 и 900∘C в течение 2 min. Микроструктуру и морфологию пленок при различных температурах исследованы методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии. Установлено, что отжиг влияет на изменения в микроструктуре, текстуре, размере зерна и шероховатости пленок TiN.
Образец цитирования:
С. В. Зайцев, В. С. Ващилин, Д. С. Прохоренков, М. В. Лимаренко, Е. И. Евтушенко, “Влияние температуры отжига на микроструктуру и морфологию пленок TiN, синтезированных методом дуального магнетронного распыления”, ЖТФ, 88:8 (2018), 1224–1228; Tech. Phys., 63:8 (2018), 1189–1193