|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Физика низкоразмерных структур
Влияние температуры отжига на микроструктуру и морфологию пленок TiN, синтезированных методом дуального магнетронного распыления
С. В. Зайцев, В. С. Ващилин, Д. С. Прохоренков, М. В. Лимаренко, Е. И. Евтушенко Белгородский государственный технологический университет имени В. Г. Шухова
Аннотация:
Пленки TiN, синтезированные на подложках лейкосапфира методом дуального магнетронного распыления, подвергли последующему отжигу в вакууме при 600, 700, 800 и 900$^\circ$C в течение 2 min. Микроструктуру и морфологию пленок при различных температурах исследованы методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии. Установлено, что отжиг влияет на изменения в микроструктуре, текстуре, размере зерна и шероховатости пленок TiN.
Поступила в редакцию: 03.03.2017 Исправленный вариант: 13.02.2018
Образец цитирования:
С. В. Зайцев, В. С. Ващилин, Д. С. Прохоренков, М. В. Лимаренко, Е. И. Евтушенко, “Влияние температуры отжига на микроструктуру и морфологию пленок TiN, синтезированных методом дуального магнетронного распыления”, ЖТФ, 88:8 (2018), 1224–1228; Tech. Phys., 63:8 (2018), 1189–1193
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5845 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v88/i8/p1224
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 32 | PDF полного текста: | 8 |
|