Генерация квантово-каскадных лазеров на длине волны излучения 9.6 $\mu$m

Продемонстрирована генерация полосковых квантово-каскадных лазеров (ККЛ), изготовленных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на длине волны излучения 9.6 $\mu$m в импульсном режиме накачки при температуре 140 K. Активная область основана на конструкции с трехфононным резонансным рассеянием электронов. При построении периодов ККЛ использована гетеропара твердых растворов In$_{0.53}$Ga$_{0.47}$As/Al$_{0.48}$In$_{0.52}$As. Применена геометрия волновода с толстой верхней обкладкой на основе In$_{0.52}$Al$_{0.48}$As. Исследованы вплавной и невплавной типы нижней металлизации. Плотность порогового тока для полоскового лазера длиной 1 mm и шириной 27 $\mu$m составила $\sim$3.0 kA/cm$^{2}$ при температуре 87 K. Оценочное значение выходной оптической мощности составляет 20–35 mW.