Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2018, том 88, выпуск 10, страницы 1551–1553
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2018.10.46500.2504 (Mi jtf5799) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Физика низкоразмерных структур

Исследование свойств наноструктур ZnSe/Al$_{2}$O$_{3}$, полученных методом высокочастотного магнетронного напыления

М. М. Иванов, Р. М. Закирова, В. Ф. Кобзиев, П. Н. Крылов, И. В. Федотова

Удмуртский государственный университет, г. Ижевск
PDF полного текста (457 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2018.10.46500.2504
Аннотация: Представлены результаты исследования процесса синтеза наноструктур ZnSе/Al$_{2}$O$_{3}$ по технологии, широко применяемой в производстве интегральных схем. Показано увеличение показателя преломления, размеров областей когерентного рассеяния и уменьшение ширины запрещенной зоны с ростом толщины слоев ZnSe. Для образцов с толщиной прослойки ZnSe 9 $\mathring{\mathrm{A}}$ сделано предположение о наличии соединения ZnSeO$_{3}$ и/или комплексного соединения ZnSe $\cdot$ Al$_{2}$O$_{3}$. Мультислойные наноструктуры с толщиной прослойки селенида цинка больше 9 $\mathring{\mathrm{A}}$ содержат нанокристаллиты ZnSe кубической сингонии.
Поступила в редакцию: 02.10.2017
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2018, Volume 63, Issue 10, Pages 1504–1506
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784218100134
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. М. Иванов, Р. М. Закирова, В. Ф. Кобзиев, П. Н. Крылов, И. В. Федотова, “Исследование свойств наноструктур ZnSe/Al$_{2}$O$_{3}$, полученных методом высокочастотного магнетронного напыления”, ЖТФ, 88:10 (2018), 1551–1553; Tech. Phys., 63:10 (2018), 1504–1506
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{IvaZakKob18}
\by М.~М.~Иванов, Р.~М.~Закирова, В.~Ф.~Кобзиев, П.~Н.~Крылов, И.~В.~Федотова
\paper Исследование свойств наноструктур ZnSe/Al$_{2}$O$_{3}$, полученных методом высокочастотного магнетронного напыления
\jour ЖТФ
\yr 2018
\vol 88
\issue 10
\pages 1551--1553
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5799}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2018.10.46500.2504}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=36904521}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2018
\vol 63
\issue 10
\pages 1504--1506
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784218100134}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5799
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v88/i10/p1551
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:42
    PDF полного текста:13
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024