In situ модификация и анализ состава и кристаллической структуры кремниевой мишени с помощью ионно-пучковых методик

Метод резерфордовского обратного рассеяния (РОР) в сочетании с каналированием широко распространен в области анализа состава и структуры материалов. Представлены описание и технические параметры экспериментальной линии, предназначенной для проведения in situ ионной имплантации и спектрометрии РОР. Приведены параметры анализирующего пучка, необходимые для достижения погрешности в несколько процентов при исследовании профилей распределения примесей и дефектов. Разрешение методики было оценено при помощи спектра альфа частиц, полученных при распаде $^{239}$Pu и из РОР спектра от монокристалла кремния. Имплантация ионов Xe$^{+}$ с энергией 100 keV в монокристалл кремния и РОР анализ мишеней в режиме каналирования были проведены без нарушения вакуумных условий. Были изучены профиль распределения внедренных атомов и профиль распределения дефектов в облученных монокристаллах.