Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2018, том 88, выпуск 12, страницы 1859–1862
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2018.12.46788.12-18 (Mi jtf5748) 		 
Эта публикация цитируется в 11 научных статьях (всего в 11 статьях)

Твердотельная электроника

Структура и свойства двухслойной наноразмерной системы CoSi$_{2}$/Si/CoSi$_{2}$/Si, полученной ионной имплантацией

Ё. С. Эргашов, Б. Е. Умирзаков

Ташкентский государственный технический университет
PDF полного текста (266 kB) Список цитирования (11)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2018.12.46788.12-18
Аннотация: С использованием метода ионной имплантации получена двуслойная система типа CoSi$_{2}$/Si/CoSi$_{2}$/Si и определены оптимальные режимы имплантации и отжига для ее формирования. Показано, что такая система формируется, когда разности между высокой и низкой энергией ионов составляет не менее 15–20 keV. Сформированные структуры имели гладкую поверхность с высокой кристалличностью.
Поступила в редакцию: 13.01.2018
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2018, Volume 63, Issue 12, Pages 1820–1823
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784218120058
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Ё. С. Эргашов, Б. Е. Умирзаков, “Структура и свойства двухслойной наноразмерной системы CoSi$_{2}$/Si/CoSi$_{2}$/Si, полученной ионной имплантацией”, ЖТФ, 88:12 (2018), 1859–1862; Tech. Phys., 63:12 (2018), 1820–1823
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ErgUmi18}
\by Ё.~С.~Эргашов, Б.~Е.~Умирзаков
\paper Структура и свойства двухслойной наноразмерной системы CoSi$_{2}$/Si/CoSi$_{2}$/Si, полученной ионной имплантацией
\jour ЖТФ
\yr 2018
\vol 88
\issue 12
\pages 1859--1862
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5748}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2018.12.46788.12-18}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=36929262}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2018
\vol 63
\issue 12
\pages 1820--1823
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784218120058}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5748
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v88/i12/p1859
    • Эта публикация цитируется в следующих 11 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:48
    PDF полного текста:17
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024